等离子清洗机通常使用许多不同的气体，如氧气、氢气、氮气、压缩空气或氩气。那么为什么要使用这种气体，它在等离子清洗机设备中的作用是什么？ 氩是惰性气体，离子化的等离子体不会与衬底发生化学反应。在等离子体清洗中，氩气主要用于基片表面的物理清洗和表面粗糙化。因此，氩等离子清洗机广泛应用于半导体行业、微电子行业和晶圆制造行业。

氩气对人体的危害。 吸入高浓度氩气中毒的临床表现主要是缺氧引起的。虽然缺氧是全身性的，但人体的中枢神经系统对缺氧是敏感的。轻者出现头痛、头晕、乏力、恶心、呕吐等症状。严重者会出现昏迷、抽搐甚至昏迷，甚至导致现场人员猝死。由于全身缺氧的损害作用，患者可并发肺水肿、心肌损害、肝肾损害等多器官功能障碍的表现。

氩气泄漏的处理措施。 迅速将泄漏污染区的人员撤离至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急响应人员穿戴自给式正压呼吸器和普通工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。泄漏的容器应在使用前进行适当的处理、修理和检查。